高性能碳化硅陶瓷部件高效制造关键技术研究
- 项目简介
高性能陶瓷材料具有一系列优异性能，具有不可替代的作用，近年来国外发展很快，应用领域不断扩展。我国高性能陶瓷材料在高端制品与高端应用领域远落后于欧美日等发达国家，严重制约我国高端装备制造和相关工业产业的转型升级。
本项目针对我国高性能陶瓷材料产业发展面临的大尺寸复杂结构成形、致密化过程变形、高效高精密加工等共性技术难题，以重点需求为牵引，深入开展了高性能碳化硅陶瓷材料的工程化制造及应用技术研究，成功研制了大尺寸碳化硅筒体、大尺寸精密碳化硅平板等部件，实现进口替代解决了行业急需，满足了我国战略性产业发展需求，达到国际先进水平。
- 应用前景
微电子装备用碳化硅陶瓷部件作为单晶提纯设备、光刻机、刻蚀机、注入设备、CVD设备等多个装备及制程工序的关键部件，长期被日本和美国垄断，严重影响了我国自主发展微电子产业的进程。本项目研制的部件，在上海微电子装备等研制的光刻机装备中得到广泛的应用，逐步取代了国外进口，支撑上海和中国相关产业的发展。
